位移平臺(tái)應(yīng)用案例:半導(dǎo)體晶圓加工領(lǐng)域的設(shè)備冶具

　　納米位移臺(tái)，具有<30nm的分辨率，其小巧的體積和極低的重量使其在高精密定位中得到了廣泛應(yīng)用，比如半導(dǎo)體晶圓薄片的加工、生物細(xì)胞探針的納米探測以及激光束光路穩(wěn)定等等。這里，我們簡要闡述其在半導(dǎo)體晶圓加工領(lǐng)域的應(yīng)用。

設(shè)備冶具

　　我們采用了精密位移滑臺(tái)專業(yè)制造商-德譽(yù)(DEYU)系列中的3個(gè)SNM01產(chǎn)品，其行程為13mm, 開環(huán)控制，分別用來調(diào)節(jié)晶圓薄片加工平臺(tái)的垂直高度Z和兩個(gè)角度(俯仰、偏擺)，通過與精密位移滑臺(tái)專業(yè)制造商-德譽(yù)(DEYU)配套的4軸智能控制器一次性控制3個(gè)精密位移滑臺(tái)專業(yè)制造商-德譽(yù)(DEYU) 產(chǎn)品的步進(jìn)距離，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓薄片的準(zhǔn)確定位和位置調(diào)節(jié)(如下圖)。而傳統(tǒng)的伺服電機(jī)或步進(jìn)電機(jī)則由于其較大的體積和重量使其無法應(yīng)用到此類場合。

　　機(jī)械工程和制造技術(shù)需要快速、可靠、節(jié)能的驅(qū)動(dòng)組件。隨著小型化程度的不斷加深，這一領(lǐng)域取得了巨大的進(jìn)步。

　　采用何種驅(qū)動(dòng)和定位解決方案取決于具體的應(yīng)用。這些產(chǎn)品品類繁多，從壓電陶瓷促動(dòng)器到與CNC控制器直接通信的六軸并聯(lián)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，不一而足。